萬級凈化，環(huán)境凈化的一種，主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內的空氣，將室內的污染逐漸排出，來實現(xiàn)潔凈效果。

潔凈室(CleanRoom)，亦稱為無塵室或清凈室。

「潔凈室」是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

潔凈室**主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為「潔凈室」。

**各國均有自定規(guī)格，但普遍還是用美國聯(lián)邦標準209為多，以下僅就209D及209E和**上其它各國制定標準作介紹與相互比較。

209E與209D等**大之不同在于209E表示單位增加了公制單位，潔凈室等級以‵M′字頭表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推，配合**公制單位之標準化，M字母后之阿拉伯數(shù)目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數(shù)目字以10的冪次方表示，取指數(shù)為之，若微塵粒子數(shù)介于前后二者**冪次方之間，則以1.5、2.5、3.5….表示。

美國聯(lián)邦標準FS209D都以英制每立方英呎為單位，日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位，以0.1μm微粒子為計數(shù)標準。日本標準之表示法以Class1，Class2，Class3……Class8表示，**好的等級為Class1，**差則為Class8，以每立方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為10的冪次方，取其指數(shù)而得。

處理方案

●萬級凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應采用初效、中效、空氣過濾器三級過濾。

●空氣過濾器的選用布置和安裝方式，應符合：初效空氣過濾器不應選用浸油式過濾器;中效空氣過濾器宜集中設置在凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)的正壓段;空氣過濾器或亞空氣過濾器宜設置在凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)末端，空氣過濾的安裝方式應簡便可靠，宜檢漏和更換;中效、亞、空氣過濾器宜按額定風量選用;阻力、效率相近的空氣過濾器宜設置在同化車間內。

●確定集中或分散式凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)時，應綜合考慮生產(chǎn)工藝的特點和凈化車間空氣的潔凈度等級、面積、位置等因素。凡生產(chǎn)工藝連續(xù)、無塵室或凈化車間面積較大時，位置集中以及噪聲控制和振動控制要求嚴格的潔凈室，宜采用集中式凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)。

●凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)如需電加熱時，應選用管狀電加熱器，位置應布置在空氣過濾器的上風側，并應有防火安全措施。

●送風機可按凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)的總送風量和總阻力值進行選擇，中效、空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的兩倍計算。

●凈化工程化空氣調節(jié)系統(tǒng)除直流式系統(tǒng)和設置值班風機的系統(tǒng)外，應采取防止室外污染空氣通過新風口參入凈化車間內的防灌倒措施。

●凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)設計應合理利用回風，凡工藝過程產(chǎn)生大量有害物質且局部處理不能滿足衛(wèi)生要求，或對其他工序有危害時，則不應用回風。