隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的不斷發(fā)展，產(chǎn)品的要求更*密、集成度更高是行業(yè)發(fā)展的趨勢。目前，制造工藝已經(jīng)進(jìn)人亞納米時代，線寬都在30-180納米之間，對生產(chǎn)設(shè)備的精度要求越來越嚴(yán)格，因此，除了設(shè)備本身的工藝水平需要達(dá)到生產(chǎn)要求以外，其所處的生產(chǎn)環(huán)境風(fēng)淋室的各項指標(biāo)也應(yīng)該被嚴(yán)格地控制，包括：潔凈度、溫濕度、照度、氣流方向、振動靜電、磁場以及有害氣體等。其中的溫濕度控制是重點，其控制的效果直接影響著生產(chǎn)的優(yōu)良率。目前無菌罐裝間對溫濕度的控制范圍通常為：溫度22/-0.5℃，濕度45+/-3%RH。本文通過對現(xiàn)有潔凈室溫濕度控制風(fēng)淋系統(tǒng)的研究，引入模糊控制，以提高溫濕度控制的實際效果。

(1)、潔凈室溫度控制

空氣一次加熱又稱預(yù)加熱，是用來加熱新風(fēng)或加熱新風(fēng)與一次回風(fēng)的混合風(fēng)。一次加熱一般只用于冬季很冷的地區(qū)，防止新風(fēng)與一次回風(fēng)混合后達(dá)到飽和，產(chǎn)生水霧或結(jié)冰。一次加熱還應(yīng)用于一次混合不允許變動的超凈空調(diào)系統(tǒng)中。當(dāng)采用蒸氣或熱水進(jìn)行加熱時，一般采用控制蒸氣或熱水的調(diào)節(jié)閥開度實現(xiàn)溫度控制;當(dāng)采用電加熱時，通過晶閘管電力控制器，控制其加熱電功率實現(xiàn)溫度控制。

(2)、潔凈室濕度控制

A、除濕(干燥)處理及控制空氣冷卻干燥處理常用表冷器來完成。表冷對空氣的處理的等濕冷卻二種處理過程。采用表冷器進(jìn)行濕度控制時，是通過調(diào)節(jié)表冷器的冷媒(如冷凍水)流量來實現(xiàn)。當(dāng)濕度高于要求的值時，可通過加大冷水閥的開度來加大其流量，實現(xiàn)除濕(即干燥)處理;反之減少流量，實現(xiàn)加濕處理。應(yīng)該說明的是，由于空氣的物理性質(zhì)，其濕度的全制相對比較氨雜，方法也較多。而且，空氣的溫度和星度二個參數(shù)在調(diào)節(jié)過程中又相互影響。如某些原因使室內(nèi)溫度升高，引起空氣中水蒸汽的飽和分壓變化，在**含是量不變的情況下，將使相對濕度減少。因此，對其中某一參數(shù)進(jìn)行調(diào)節(jié)時，也會引起另一參數(shù)的變化。例如在夏季采用表冷器進(jìn)行除濕調(diào)節(jié)，開大冷水時，在使?jié)穸然謴?fù)正常的同時，也使溫度降低。因此，在工藝設(shè)計和自控方案設(shè)計時都應(yīng)充分考慮到這一特點。

B、加濕處理及控制潔凈室空調(diào)工程中，加濕操作一般是在冬季或過渡季節(jié)空氣干燥時進(jìn)行?？諝饧訚竦姆椒ū容^多。通常采用蒸汽加濕器和電加濕器的開關(guān)控制或功幸調(diào)節(jié)。蒸汽加濕時，根據(jù)濕度控制要求，可通過對電滋閥進(jìn)行位式控制或采用二通調(diào)節(jié)閥的連續(xù)調(diào)節(jié)來實現(xiàn)。